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GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备
GB/T 36646-2018 制备氮化物半导体材料用氢化物气相外延设备。该标准状态为现行，2018-09-17 发布，2019-01-01 实施。全文PDF下载。
CCS L95
GB/T 37466-2019 推荐性国家标准
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备。该标准状态为现行，2019-06-04 发布，2019-10-01 实施。全文PDF下载。
GB/T 40577-2021 推荐性国家标准
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GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语。该标准状态为现行，2021-10-11 发布，2022-05-01 实施。全文PDF下载。
GB/T 41213-2021 推荐性国家标准
GB/T 41213-2021 集成电路用全自动装片机
GB/T 41213-2021 集成电路用全自动装片机。该标准状态为现行，2021-12-31 发布，2022-07-01 实施。全文PDF下载。