GB/T 42897-2023 推荐性国家标准
GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
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CCS L59
GB/T 44531-2024 推荐性国家标准
GB/T 44531-2024 微机电系统（MEMS）技术 基于MEMS技术的车规级压力传感器技术规范
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GB/T 47562-2026 推荐性国家标准
GB/T 47562-2026 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片
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GB/T 42191-2023 推荐性国家标准
GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
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GB/T 42895-2023 推荐性国家标准
GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法
GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法。该标准状态为现行，2023-08-06 发布，2023-12-01 实施。全文PDF下载。
GB/T 42896-2023 推荐性国家标准
GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法
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GB/T 47719-2026 推荐性国家标准
GB/T 47719-2026 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法
GB/T 47719-2026 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电容式麦克风性能试验方法。该标准状态为现行，2026-05-25 发布，2026-09-01 实施。全文PDF下载。